Графеновые структуры на подложках 100 х 200 мм по ГФХО-техпроцессу

Компания 2-DTech достигла значительных успехов в производстве графеновых компонентов по ГФХО-техпроцессу (газофазное химическое осаждение). Теперь индустрия полупроводников может задействовать весь потенциал графена.

Согласно разработчикам, высококачественные поликристаллические графеновые плёнки превосходят другие материалы по таким параметрам как плотность дефектов и электрическая мобильность. Заказчики могут рассчитывать на электрическую мобильность порядка 2250 см²/В*с.

2-DTech способна производить графеновые компоненты различного размера на разнообразных подложках. Компоненты могут быть выращены на медных подложках 100 х 200 мм. Кроме того, графеновые структуры могут быть перенесены на другие типы подложек (40 х 40 мм), включая такие материалы как SiO₂ и другие, по выбору заказчика.

Новые компоненты могут быть включены в состав фотоэлектрических, электронных и сенсорных устройств. При этом предусмотрена возможность создания многослойных гетероструктур, в которых графен объединяется с другими 2-мерными материалами (hBN, MoS₂).