ST запускает новый техпроцесс для производства МЭМС-датчиков

STMicroelectronics сообщила о запуске производства МЭМС-датчиков с использованием инновационного фирменного техпроцесса THELMA60 (применяется слой эпитаксиального полимера толщиной 60 мкм) с поверхностной микрообработкой.

Производители полупроводников ранее работали лишь с двумя техпроцессами при серийном выпуске 3D МЭМС-компонентов (акселерометров, гироскопов, микрофонов и датчиков давления). Процесс поверхностной микрообработки рассматривался как экономически более эффективный. Процесс объёмной микрообработки зачастую использовался для достижения большего уровня чувствительности и точности работы. Инновации от ST сочетают преимущества обоих подходов, открывая возможности для вывода инновационных МЭМС-компонентов на новые рынки.

По мнению вице-президента ST, внедрение техпроцесса THELMA60 открывает новую эру инерциальных датчиков. Это идеальное решение для повышения эффективности цены различных систем, для которых требуется повышенная чувствительность (например, имплантируемых медицинских устройств, высокоточных датчиков для аэрокосмического оборудования и сейсмических исследований). После революционных изменений на рынке инерциальных датчиков для потребительского оборудования, производитель намерен выйти на системы с высокоточным оборудованием.