Система газофазного осаждения способствует оптимизации и разработке солнечных элементов

Компания Altatech недавно представила многокамерную систему газофазного осаждения, которая позволяет производителям фотоэлектрических ячеек разрабатывать и оптимизировать схемы с солнечными элементами. В данной системе используется улучшенное тонкоплёночное нанесение аморфного кремния и других материалов.

Новое решение AltaCVD Solarlab, которое осуществляет все процессы нанесения в рамках одной системы, снижает время циклов и расход материалов при изготовлении улучшенных одиночных, двойных и тройных фотоэлектрических ячеек.

Используя данную систему, производители могут осуществлять осаждение плёнок из прозрачного проводящего оксида. Эта плёнка обладает превосходными оптическими характеристиками, высокой текучестью для допирования и гладкой без дефектов поверхностью, необходимой для оптимизации эффективности солнечных элементов.

При разработке новой системы, компания Altatech, являющаяся подразделением Soitec, эффективно задействовала свою патентованную камерную архитектуру и технологию осаждения, позволяющую использовать новый газ-прекурсор для достижения весьма высокой однородности плёнки и чётко контролируемой стехиометрии. Эти возможности были проверены в производстве на платформе AltaCVD, которая использовалась как для инжиниринга, так и для серийного производства улучшенных полупроводниковых компонентов с 2008 года.

Возможности системы AltaCVD Solarlab достаточно гибки для осуществления как стандартного температурного, так и для улучшенного плазменного процесса газофазного осаждения, а также для нанесения на атомарном уровне. Данные процессы могут проходить при широком диапазоне температур от 100 до 800°C для создания фоточувствительных плёнок, которые должны увеличить КПД фотоэлектрических элементов для преобразования солнечного света в электричество. Дополнительно, система может работать с различными субстратами, включая прозрачное стекло, круглые или квадратные кремниевые полупроводниковые пластины с толщиной от 150 микрон до нескольких сантиметров.

Компания Soitec планирует отгрузки системы AltaCVD Solarlab заказчикам к концу этого года.