На выставке MEMS Exec Congress представлены 5 МЭМС-устройств

На прошедшей выставке MEMS Exec Congress компания Bosch показала два микроэлектромеханических (МЭМС) чипа, созданных для систем Интернета вещей (IoT). Первое устройство – это модуль инерциальных измерений (IMU) для автомобильных систем, не связанных с обеспечением безопасности. Чип SM130, в котором задействованы недорогие технологии МЭМС, используемые в потребительских ИМС, предназначен для автомобильных электронных систем, которым не требуется особая точность работы.

В чипе SM130 интегрирован 16-битный 3-осевой гироскоп и 12-битный 3-осевой акселерометр. Размеры корпуса составляют 3 х 4.5 мм. Модуль инерциальных измерений сертифицирован согласно испытаниям ИМС в по спецификации AECQ100, но спроектирован для систем, не связанных с безопасностью. Это могут быть схемы стабилизации изображения, выводимого на лобовое стекло автомобиля. Также чип может использоваться в автомобильных системах навигации и телематики.

Второй чип, представленный Bosch на прошедшей выставке, это важный компонент для систем тепловизоров.

Матрица датчиков дальней ИК-области спектра SMO130 позволяет получать тепловые изображения на массиве фокальной плоскости с размерами 82 х 62 пикселя. Недорогая матрица датчиков, реализованная за счёт кремниевых термо-диодов и предусмотренной полости для термоизоляции, имеет температурное разрешение 200 мК при частоте обновления 9 кадров/сек.

Помимо использования в термографии, строительном надзоре, управлении процессами, решение SMO130 будет задействовано в системах безопасности благодаря функциям ночного видения и детектирования пламени, в системах учёта посетителей, в оборудовании мониторинга климата и системах строительной автоматики.

Также на выставке компанией Merit Sensor из штата Юта (США) была представлена линейка прецизионных датчиков давления с температурной компенсацией. Merit Sensor, появившаяся благодаря дочерней компании Merit Medical Systems, стала лидирующим поставщиком сверхнадёжных датчиков давления автомобильного, медицинского и промышленного назначения.

Серия прецизионных датчиков TR с температурной компенсацией позволяют при измерении давления исключить контакт электроники считывающего чипа со средой за счёт наличия дополнительного отверстия с задней стороны компонентов.

Компания Memsic (Массачусетс, США) анонсировала на выставке 3-осевой магнитометр (цифровой компас). Решение выполнено по фирменной анизотропной магниторезистивной технологии AMR с применением эффекта Холла, а также методик сторонних разработчиков. Модель обладает в 4 раза лучшим разрешением, на 25 % меньшим шумом и на 33% меньшим корпусом (1.6 х 1.6 х 0.6 мм) по сравнению с конкурирующими решениями. Помимо функции цифрового компаса для смартфонов и планшетов, магнитометр от Memsic найдёт применение в игровых консолях, различных системах навигации.

На выставке компания Kionix объявила о пройденной сертификации своего решения Micro-Amp Magnetic Gyro (KMX61G) под систему Windows 8.1, подтвердив заявленные параметры работы инновационного синтетического гироскопа. Обычные гироскопы являются потребителями тока, сокращая заряд батарей мобильных устройств в большей степени, чем любые другие МЭМС-датчики. Новый синтетический гироскоп от Kionix получает информацию о вращении за счёт алгоритмов слияния данных 3-осевого магнитометра и 3-осевого акселерометра. В результате компонент потребляет в 10 раз меньше мощности по сравнению с обычным гироскопом с 9 степенями свободы.