Решение для измерения температуры в техпроцессе MOCVD

LumaSense Technologies выпустила бесконтактный инструментарий измерения температуры нового поколения для применяемого в светодиодной промышленности технологического процесса химического осаждения металлоорганических соединений из паровой фазы (MOCVD).

Пирометры UV 400 и UVR 400 созданы для разработчиков, применяющих техпроцесс MOCVD. Решения способствуют повышению эффективности и снижению отходов при производстве светодиодов.

Используя центральную длину волны ультрафиолетового спектра (400 нм), данные пирометры делают возможным измерение реальной температуры поверхности полупроводниковых пластин, в то время, как традиционные пирометры лишь способны измерять температуру токоприёмника/кармана подложки под пластиной. Это позволяет осуществлять наиболее точное и повторяемое управление температурой, которое при производстве светодиодов очень критично по отношению к итоговой длине волны изделия и к производственному выходу.

Широкий рабочий температурный диапазон от 650 до 1300°C позволяет осуществлять измерения различных параметров, например роста слоя буфера нитрида галлия (GaN) или роста нескольких квантовых ям. Малое время отклика порядка 8 мс позволяет измерять быстрые процессы. Точный инструментарий подсчёта фотонов гарантирует максимально достижимое соотношение сигнала/шума и уровень стабильности.

В дополнение к UV 400, пирометр UVR 400 имеет 635-нм лазерный рефлектометр, позволяющий осуществлять измерение толщины и роста слоя GaN в реальном времени при эпитаксиальном наращивании.

Для дополнительного управления температурой реактора пирометры UV 400 и UVR 400 могут сочетаться с хорошо зарекомендовавшим себя пирометром PhotriX с концентрической лучевой трубкой от LumaSense. Как отдельно, так и в сочетании с пирометром PhotriX, новые решения предоставляют наилучшие возможности измерения и управления, а также способствуют лучшему качеству производимой продукции и повышенному производственному выходу.