Датчик значительно уменьшает расход воды при очистке полупроводниковых пластин

Semiconductor Research Corporation (SRC) представляет технологию, которая по заявлению компании, может сэкономить до 80% воды и энергии, требующихся при традиционной очистке полупроводниковых пластин.

SRC разработала датчик, точно определяющий, когда пластина чиста. Партнёры SRC могут внедрить датчик для понижения водо- и энергопотребления, устанавливая его у краёв каждой пластины.

Такая техника на основе датчика для очистки пластин будет особенно важна в будущем, так как идёт переход в индустрии от пластин 300 мм к 450-миллиметровым, которые сложнее держать чистыми из-за большей площади поверхности.

Датчик для очистки состоит из каналов, изготовленных из проводников и изоляторов, используемых в каждой пластине, на которые подается очищающая жидкость. Размер канала пропорционален самым малым элементам на пластине, что позволяет датчику осуществлять её точную очистку.

Так, как пластины очищают подачей воды на их центр во время вращения, датчики располагают вокруг края пластин, где вычищаются остатки примесей. Измеряя сопротивление очищающей воды в каналах, получают данные об оставшихся примесях в режиме реального времени, что позволяет остановить процесс очистки, когда необходимый уровень чистоты достигнут.

Корпорация метрологии (EMC) лицензировала процесс очистки от SRC и в данный момент на пути предоставления технологии компаниям партнёрам, включая AMD, Freescale Semiconductor, GlobalFoundries, IBM, Intel и Texas Instruments. EMC предоставляет пластину для проводного теста, позволяющую компаниям-партнёрам оценить экономию такого процесса очистки. Беспроводная версия, которая станет доступной в будущем году, позволит размещать датчик очистки у края каждой полупроводниковой пластины, тем самым рационализируя поток процесса очистки.

SRC работала в центре инженерных исследований университета Аризоны над техниками очистки полупроводниковых пластин на протяжении 16 лет.